设备应用:
适用于半导体先进封装芯片固晶及金线/铝线键合工艺后的2D、3D自动光学检测
产品参数:
| 项目 | 参数 | |
| 型号 | V1000 | V2000 |
| 应用 | 半导体先进封装芯片固晶及金线/铝线键合工艺后的2D自动光学检测 | 半导体先进封装芯片固晶及金线/铝线键合工艺后的3D自动光学检测 |
| 性能特点 | 过杀≤500 PPM;漏检≤100 PPM(非致命性缺陷);MTBA≥2H、MTBF≥168H、GR&R<10% UPH≥35-90条/小时【约64条/小时(以PDFN5*6计算,实际以产品为准)】最小封装尺寸:兼容所有封装类型、最大引线框架尺寸:100mm × 300mm |
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| 换型时间 | ≤30min | ≤1H |
| 工艺流程 | 料盒上料;物料推送;视觉定位,2D AOI检测;MARK;不良品分选,良品下料 料盒上料;物料推送;视觉定位,2D AOI检测;3D AOI检测;MARK;不良品分选,良品下料 | |
| 光学分辨率 2D | 精度:2.5μm/ 像素【可配更高】;视线范围(FOV):12.8mm*12.8mm | |
| 光学分辨率 3D | / | 3D 检测:XY 平面分辨率3.6μm/pixel;Z 方向精度:±10μm;视线范围(FOV):5.6mm*4mm |
| 检验缺陷 | 固晶检测、一二焊点检测、焊线检测、胶体/焊锡检测、框架/引脚检测 | |
| 芯片:芯片偏移、崩边崩脚、芯片划伤、旋转、错芯片、无芯片;焊点:球大小、长宽、偏移、脱落、球偏心等;银胶:银胶溢出、缺失等;焊线:错焊、 多焊、 少线、 断线、 塌线、 线弯曲、 线弧高度异常、线长、线宽、线距、线高等;引脚、框架:刮伤、异物脏污、破损等 | ||
| 框架范围 | 100mm~300mm (L) *35mm~100mm (W) | |
| 适用Magazine | 110mm~310mm (L) *40mm~120mm (W) *100mm~180mm(H) | |
| 上料 / 下料 | 料盒上下料(基板条或金属载体) | |
| 轨道调节 | 自动手动结合,有真空冶具时需要手动更换真空支撑冶具 | |
| 工作特点 | 2D+3D+Mark(根据需求搭配),3D采用光场成像技术捕获三维数据,满足多层金线的成像与检测;大理石平台+高精度光栅尺+高速直线电机,保证运动精度的同时提高效率;支持框架Maping图标;配备SPC + Repair工具辅以数据分析和修复;静电消除离子风机;配备HEPA过滤器;QR码(数据矩阵)读取器(选配);墨点/镭雕Mark(选配);支持AI嵌入,可用于对比度比较小的金线焊点分割和复判 | |
*以上参数以实际产品为准